Π’Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΌΠΈΡ€ домашнСй элСктроники

Π‘ΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ своими Ρ€ΡƒΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΌ ΡΠΎΠ²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π³ΠΎΡ€ΠΈΠ·ΠΎΠ½Ρ‚Ρ‹, позволяя Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ самыС смСлыС ΠΈΠ΄Π΅ΠΈ Π±Π΅Π· нСобходимости ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‰Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° сторонниС прСдприятия. Π­Ρ‚ΠΎ Π½Π΅ просто способ ΡΡΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ‚ΡŒ, Π½ΠΎ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚, ΠΏΠΎΠ½ΡΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΈΠ·ΠΈΠΊΡƒ процСссов ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Ρ‚ΡŒ устройство, идСально подходящСС ΠΏΠΎΠ΄ ваши спСцифичСскиС трСбования. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ прСвращСния схСмы Π½Π° Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Π΅ Π² Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ каТСтся слоТным, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΎΠ½ становится ΡƒΠ²Π»Π΅ΠΊΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ…ΠΎΠ±Π±ΠΈ.

Π”ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½Π΅Π΅ производство Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π³ΠΎ мСста ΠΈ соблюдСния Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΈΠΊΠΈ бСзопасности, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Π΅ химичСскиС Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈ инструмСнты ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ опасны ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅Π°ΠΊΠΊΡƒΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ. Π’Π°ΠΌ понадобятся ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹Π΅ инструмСнты для Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΏΠ΅Π½ΠΈΠ΅, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ процСсс травлСния Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ. Однако Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ„Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ выглядящСй ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ с Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°Ρ€ΠΈΡΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚ Ρ€ΡƒΠΊΠΈ, стоит всСх Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… усилий.

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ изготовлСния

БущСствуСт нСсколько основных ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² нанСсСния рисунка Π½Π° Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΉ тСкстолит, ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ зависит ΠΎΡ‚ слоТности схСмы, качСства оборудования ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΊ точности Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. Π‘Π°ΠΌΡ‹ΠΉ популярный срСди Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… β€” это Π»Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ-ΡƒΡ‚ΡŽΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ (Π›Π£Π’), ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ дорогостоящСго оборудования, Π½ΠΎ Π΄Π°Π΅Ρ‚ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΈΠ΅ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ Π°ΠΊΠΊΡƒΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΌ Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ. Для Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ слоТных ΠΏΡ€ΠΎΠ΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² с ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠΌ шагом Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, микросхСмы Π² корпусах QFN ΠΈΠ»ΠΈ SOIC) Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ с использованиСм фоторСзиста.

ΠšΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ свои ΠΏΠ»ΡŽΡΡ‹ ΠΈ минусы, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹. Π›Π£Π’ ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для двухсторонних ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΠΈ простых схСм, Π³Π΄Π΅ ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½Π°. ЀоторСзист позволяСт ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ, Π½ΠΎ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ наличия Π£Π€-Π»Π°ΠΌΠΏΡ‹ ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ экспонирования. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ сущСствуСт ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ с использованиСм ΠΌΠ°Ρ€ΠΊΠ΅Ρ€Π° ΠΈ Π»Π°ΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ для самых простых ΠΈ Π³Ρ€ΡƒΠ±Ρ‹Ρ… ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠΉ, Π½Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΡ… высокой плотности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: НС ΠΏΡ‹Ρ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ΡΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΎΡ„ΠΈΡΠ½ΡƒΡŽ Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Ρƒ для Π›Π£Π’-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π±Π΅Π· ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π·Π°ΡΡ‚Ρ€ΡΡ‚ΡŒ Π² ΡƒΡ‚ΡŽΠ³Π΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ слишком толстый слой основы, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅ отмоСтся. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Π³Π»ΡΠ½Ρ†Π΅Π²ΡƒΡŽ Π±ΡƒΠΌΠ°Π³Ρƒ для Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ страницы ΠΈΠ· ΠΆΡƒΡ€Π½Π°Π»ΠΎΠ² с высоким содСрТаниСм глянца.
πŸ“Š Какой ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ изготовлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π²Ρ‹ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΡ‡ΠΈΡ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅?
Π›Π°Π·Π΅Ρ€Π½ΠΎ-ΡƒΡ‚ΡŽΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ (Π›Π£Π’)
ЀоторСзист
Ручная прорисовка
Π•Ρ‰Π΅ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Π»

ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° основы ΠΈ пСрСнос рисунка

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ этапом Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ являСтся Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΠ»ΡŒΠ³ΠΈ, ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ зависит качСство Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅Π³ΠΎ соСдинСния ΠΈ адгСзия Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π° ΠΈΠ»ΠΈ рСзиста. МСдь Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π·Π°Ρ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΎΠΉ Π½Π°ΠΆΠ΄Π°Ρ‡Π½ΠΎΠΉ Π±ΡƒΠΌΠ°Π³ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ мСталличСской Π³ΡƒΠ±ΠΊΠΎΠΉ для посуды, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ оксидный слой ΠΈ загрязнСния. ПослС мСханичСской ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ слСдуСт ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ раствор Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½Π° ΠΈΠ»ΠΈ спирта, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π°ΠΆΠ΅ микроскопичСскиС частицы ΠΆΠΈΡ€Π° ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ привСсти ΠΊ ΠΎΡ‚ΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ.

ΠŸΡ€ΠΈ использовании Π›Π£Π’-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° пСрСнос изобраТСния осущСствляСтся с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠ½Π°ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΊ ΠΈΠ»ΠΈ ΡƒΡ‚ΡŽΠ³Π°. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ‚ΡŒ ΡƒΡ‚ΡŽΠ³ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎ, избСгая Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΠ΄Π²ΠΈΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ лист ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Для фоторСзиста ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ контактная ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄ Π£Π€-источником, Π³Π΄Π΅ Π²Π°ΠΆΠ½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ прилСгания фотомаски ΠΊ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρƒ. ΠŸΡ€ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠΈ Π² нанСсСнии Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π° ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄ΡƒΡ‚ ΠΊ Π±Ρ€Π°ΠΊΡƒ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π° этапС травлСния.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с фоторСзистом ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ химичСскиС ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹ ΠΈ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ нанСсти Π²Ρ€Π΅Π΄ Π·Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ²ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π΅ Π±Π΅Π· Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹.

β˜‘οΈ ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ пСрСносу рисунка

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ пСрСноса ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ Π»ΡƒΠΏΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ микроскопом, ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΠ²ΡˆΠΈΡΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π½Π΅Ρ‚ Ρ€Π°Π·Ρ€Ρ‹Π²ΠΎΠ² Π² Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ… ΠΈ Π»ΠΈΡˆΠ½ΠΈΡ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡Π΅ΠΊ. Если Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€, ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅ΡΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΎΠ½ настроСн Π½Π° максимальноС качСство ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚ΠΈ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€ с высоким содСрТаниСм ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°. Для двухсторонних ΠΏΠ»Π°Ρ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° идСальная совмСщСнная Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΊΠ° с ΠΎΠ±Π΅ΠΈΡ… сторон, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ отвСрстия ΠΏΠΎΠ΄ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ совпадали с Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ Π΄ΠΎ Π΄ΠΎΠ»Π΅ΠΉ ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Π°.

Π‘Π΅ΠΊΡ€Π΅Ρ‚ идСального Π›Π£Π’

Как ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ отслоСния Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π°?|ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ пСрСносом ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ слСгка ΠΏΡ€ΠΈΠΏΡ‹Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€ Ρ‚Π°Π»ΡŒΠΊΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ½ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΈΠΏ ΠΊ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π° послС остывания ΠΏΡ€ΠΎΠ³Π»Π°Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· слой кальки Π΅Ρ‰Π΅ Ρ€Π°Π· для выравнивания повСрхности.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ травлСния ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя

Π’Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ β€” это химичСский процСсс, Π² Ρ…ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎ удаляСтся открытая мСдь, оставляя Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ фоторСзистом Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ. Для этого ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ раствор Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π°, пСрСкиси Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡ€ΠΎΠ΄Π° с кислотой ΠΈΠ»ΠΈ Π»ΠΈΠΌΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ кислоты с солью. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° раствора ΠΈΠ³Ρ€Π°Π΅Ρ‚ ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ: Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΎΠ½ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»Π΅Π΅, Ρ‚Π΅ΠΌ быстрСС ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ рСакция, Π½ΠΎ слишком высокая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€ ΠΈΠ»ΠΈ фоторСзист.

Π’ процСссС травлСния Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ постоянно ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ раствор ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π»ΠΊΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ доступ Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π° ΠΊΠΎ всСй повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. ВрСмя Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΊΠΈ зависит ΠΎΡ‚ ΠΊΠΎΠ½Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ раствора ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ это Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ 10 Π΄ΠΎ 30 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. НС оставляйтС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π±Π΅Π· присмотра, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π°Π²ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Ρ€Π°Π·ΠΌΡ‹Ρ‚ΠΈΡŽ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ элСктричСских соСдинСний.

Π Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚ Бостав Π‘ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ Π‘Π»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ
Π₯Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ΅ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ Π’ΠΎΠ΄Π½Ρ‹ΠΉ раствор соли БрСдняя Низкая
ΠŸΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠΈΡΡŒ + ΠšΠΈΡΠ»ΠΎΡ‚Π° Hβ‚‚Oβ‚‚ + HCl (соляная) Высокая БрСдняя
Лимонная кислота Π›ΠΈΠΌΠΎΠ½ΠΊΠ° + Боль + Hβ‚‚Oβ‚‚ Низкая Высокая
Аммоний persulfate ΠŸΠ΅Ρ€ΡΡƒΠ»ΡŒΡ„Π°Ρ‚ аммония Высокая Высокая

ПослС Π·Π°Π²Π΅Ρ€ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ травлСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ с ΠΌΡ‹Π»ΠΎΠΌ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΡΡ‚Π°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΡŽ ΠΈ ΡƒΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ остатки Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π°. Π—Π°Ρ‚Π΅ΠΌ слСдуСт этап удалСния Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя: для Π›Π£Π’-ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ, Π° для фоторСзиста β€” Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠΉ раствор ΠΈΠ»ΠΈ спиртовыС очиститСли. ΠžΡΡ‚Π°Π²ΡˆΠΈΠΉΡΡ Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡˆΠ°Ρ‚ΡŒ дальнСйшСй ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ΅, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, нанСсСнию припоя ΠΈΠ»ΠΈ сСрСбра.

πŸ’‘

Для ускорСния процСсса травлСния ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Π·Π²ΡƒΠΊΠΎΠ²ΡƒΡŽ Π²Π°Π½Π½Ρƒ, которая удаляСт ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΈ с повСрхности ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ эффСктивнСС, Ρ‡Π΅ΠΌ простоС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΠ΅ΡˆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.

Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅

Π‘Π²Π΅Ρ€Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ отвСрстий ΠΏΠΎΠ΄ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ использования ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅Ρ€Π»ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ станка ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠΉ Π΄Ρ€Π΅Π»ΠΈ с ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎ-свСрлами Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ 0.5–1.2 ΠΌΠΌ. Π‘Ρ‚Π°Π½Π΄Π°Ρ€Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ Π±Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Π΄Ρ€Π΅Π»ΠΈ Π½Π΅ подходят, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΡ… Π±ΠΈΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ ломанию Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… свСрл ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΡŽ отвСрстий. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ свСрла ΠΈΠ· твСрдосплавных ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ мСдь ΠΈ стСклотСкстолит быстро Π·Π°Ρ‚ΡƒΠΏΠ»ΡΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΡƒΡŽ ΡΡ‚Π°Π»ΡŒ.

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ Ρ„Π»ΡŽΡΠΎΠΌ ΠΈ нанСсти Π½Π° Π½ΠΈΡ… Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой припоя, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ мСдь ΠΎΡ‚ окислСния ΠΈ ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΡΠΌΠ°Ρ‡ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс называСтся Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ являСтся критичСски Π²Π°ΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ для надСТности ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. НСровности Π½Π° повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ остатки Ρ„Π»ΡŽΡΠ° ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ замыкания ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ свСрлСнии ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ осколки свСрл ΠΈ ΠΏΡ‹Π»ΡŒ ΠΎΡ‚ тСкстолита ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠΏΠ°ΡΡ‚ΡŒ Π² Π³Π»Π°Π·Π° ΠΈ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠ΅Ρ€ΡŒΠ΅Π·Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΌΡ‹. ΠŸΡ‹Π»ΡŒ ΠΎΡ‚ стСклотСкстолита Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ опасна для Π΄Ρ‹Ρ…Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΉ.
πŸ’‘

ИдСальноС свСрлСниС Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ вращСния ΠΈ минимального биСния ΠΏΠ°Ρ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°, поэтому использованиС ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ΄Ρ€Π΅Π»ΠΈ с ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡Π΅ΠΉ β€” Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ для Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… мастСрских.

Для качСствСнной ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² с ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠΌ шагом (Π½Π°ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Ρ€, микросхСм TQFP) ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ использованиС маски, которая наносится Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΎΡ‚ случайных ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡Π΅ΠΊ припоя. Если маска Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ, Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ провСряйтС всС паяныС соСдинСния ΠΏΠΎΠ΄ Π»ΡƒΠΏΠΎΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² отсутствии Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°Π½ΠΈΠΉ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ стоит ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ отвСрстия просвСрлСны с Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ для свободного ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄Π° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π±Π΅Π· Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… усилий.

Π‘Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ утилизация ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ²

Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° с химичСскими Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ строгого соблюдСния ΠΌΠ΅Ρ€ бСзопасности ΠΈ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ², Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π΅ Π½Π°Π²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСдС. Растворы Ρ…Π»ΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·Π° ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΡ… Ρ‚Ρ€Π°Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»Π΅ΠΉ нСльзя Π²Ρ‹Π»ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ содСрТат токсичныС тяТСлыС ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»Ρ‹ ΠΈ кислоты. НСобходимо Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‚Ρ…ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΡƒΡ‚ΠΈΠ»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΈΡ… Π² ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΏΡƒΠ½ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ° опасных вСщСств.

Π Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ мСсто Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΎ вытяТкой ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π² Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ, особСнно ΠΏΡ€ΠΈ использовании кислот ΠΈ растворитСлСй. ВсСгда ΠΈΠΌΠ΅ΠΉΡ‚Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ Ρ€ΡƒΠΊΠΎΠΉ срСдства ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΠΈ, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ содовый раствор для Π½Π΅ΠΉΡ‚Ρ€Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ кислот Π½Π° ΠΊΠΎΠΆΠ΅ ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠΈ для Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ Ρ€ΡƒΠΊ. Огонь ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с ΡƒΡ‚ΡŽΠ³ΠΎΠΌ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ наличия ΠΎΠ³Π½Π΅Ρ‚ΡƒΡˆΠΈΡ‚Π΅Π»Ρ ΠΈΠ»ΠΈ Π²Π΅Π΄Ρ€Π° с пСском рядом.

БоблюдСниС этих простых ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ» ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΡ‚ Π²Π°ΠΌ Π½Π°ΡΠ»Π°ΠΆΠ΄Π°Ρ‚ΡŒΡΡ процСссом создания элСктроники Π±Π΅Π· риска для Π·Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ²ΡŒΡ ΠΈ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды. ΠŸΠΎΠΌΠ½ΠΈΡ‚Π΅, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π°ΠΊΠΊΡƒΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ β€” Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹Π΅ инструмСнты Ρ€Π°Π΄ΠΈΠΎΠ»ΡŽΠ±ΠΈΡ‚Π΅Π»Ρ, Π±Π΅Π· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Π΄Π°ΠΆΠ΅ самоС Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠ³ΠΎΠ΅ ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ даст Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ΅Π³ΠΎ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°. РСгулярная ΠΏΡ€Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ошибок ΠΏΠΎΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Π°ΠΌ быстро ΠΎΡΠ²ΠΎΠΈΡ‚ΡŒ Π½Π°Π²Ρ‹ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ слоТныС устройства.

FAQ: Часто Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вопросы

МоТно Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ‚ΡŽΠ³ для пСрСноса Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π°?

Π”Π°, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΡƒΡ‚ΡŽΠ³ ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для пСрСноса Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π° ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π›Π£Π’, Π½ΠΎ Π²Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ "Π₯Π»ΠΎΠΏΠΎΠΊ" Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΠ΄Π°Ρ‡ΠΈ ΠΏΠ°Ρ€Π° ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ максимальной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ качСствСнный ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π².

Как ΡƒΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΡŒ остатки фоторСзиста послС травлСния?

ΠžΡΡ‚Π°Ρ‚ΠΊΠΈ фоторСзиста ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π°Ρ†Π΅Ρ‚ΠΎΠ½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠΏΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ спирта, ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° трСбуСтся Π½Π°Π³Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ для Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅Π³ΠΎ эффСкта, Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

ΠŸΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Ρ€Π°Π·ΠΌΡ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ?

Π Π°Π·ΠΌΡ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго происходит ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Π²Π° раствора, слишком Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ³ΠΎ травлСния ΠΈΠ»ΠΈ нСдостаточной плотности Ρ‚ΠΎΠ½Π΅Ρ€Π°/фоторСзиста, Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт кислотС ΠΏΡ€ΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ слой.

МоТно Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚Π°Ρ€ΡƒΡŽ ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ для Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ?

ВСорСтичСски ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π½ΠΎ это ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ слоТно, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ трСбуСтся ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ старый ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ, лудящий слой ΠΈ Ρ„Π»ΡŽΡ, часто ΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅ ΠΊΡƒΠΏΠΈΡ‚ΡŒ Π½ΠΎΠ²Ρ‹ΠΉ тСкстолит, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π±Ρ€Π°ΠΊΠ°.

Какой Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ свСрла Π½ΡƒΠΆΠ΅Π½ для сквозных отвСрстий?

Для Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ² стандартных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ 0.8–1.0 ΠΌΠΌ, Π° для сквозных отвСрстий ΠΏΠΎΠ΄ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΡŠΠ΅ΠΌΡ‹ β€” 1.2–1.5 ΠΌΠΌ, Π² зависимости ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄Π°.