Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° с ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ точности Π² ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ токопроводящих Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΎΡ‚ окислСния ΠΈ случайных Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°Π½ΠΈΠΉ. ИмСнно здСсь Π½Π° ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ паяльная маска, которая выступаСт Π³Π»Π°Π²Π½Ρ‹ΠΌ изоляционным слоСм Π½Π° повСрхности Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ издСлия. Π‘Π΅Π· этого слоя Π΄Π°ΠΆΠ΅ самая качСствСнная ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ быстро Π²Ρ‹ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΈΠ· строя ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ образования ΠΏΠ°Ρ€Π°Π·ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡Π΅ΠΊ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅.

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ нанСсСния маски часто каТСтся слоТным Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‡ΠΊΠ°ΠΌ, ΠΎΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ соблюдСнии Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈ использовании ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ ΠΏΡ€Π΅Π²Π·ΠΎΠΉΠ΄Π΅Ρ‚ оТидания. Π’Ρ‹ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚Π΅ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠ°ΠΊ с ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹ΠΌΠΈ составами, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΈ с ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ свои особСнности примСнСния Π² зависимости ΠΎΡ‚ условий мастСрской.

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° паяльной маски ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности

ΠŸΠ΅Ρ€Π²Ρ‹ΠΌ критичСским шагом являСтся ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° изолятора, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ. На Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ Π΄Π²Π΅ основныС ΠΊΠ°Ρ‚Π΅Π³ΠΎΡ€ΠΈΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²: ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ фоторСзист ΠΈ сухая плСночная маска. Π–ΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠ΅ составы, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ PSR-4000 ΠΈΠ»ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ ΠΎΡ‚ Wacker, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ ΠΈ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΉ слой, Ρ‡Ρ‚ΠΎ идСально ΠΏΠΎΠ΄Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ для ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с высокой ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°.

Бухая плСночная маска, Π½Π°ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ², Π»Π΅Π³Ρ‡Π΅ наносится Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ мСньшС слоТного оборудования для старта, Π½ΠΎ Π΄Π°Π΅Ρ‚ слой большСй Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°Ρ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ для ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΡ… ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ. ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ Π½Π°Ρ‡Π°Π»ΠΎΠΌ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅: очиститС Π΅Π³ΠΎ ΠΎΡ‚ ΠΆΠΈΡ€ΠΎΠ², окислов ΠΈ остатков Ρ„Π»ΡŽΡΠ°, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ спСциализированныС ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΠ²Π°Ρ‚Π΅Π»ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ мягкиС Π°Π±Ρ€Π°Π·ΠΈΠ²Π½Ρ‹Π΅ пасты.

Если ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ загрязнСна, адгСзия маски снизится, ΠΈ Π² процСссС эксплуатации изоляция Π½Π°Ρ‡Π½Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ. ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²Π΅Π½Π½Π°Ρ очистка β€” это Π·Π°Π»ΠΎΠ³ долговСчности вашСго издСлия. НС ΠΏΡ€Π΅Π½Π΅Π±Ρ€Π΅Π³Π°ΠΉΡ‚Π΅ этим этапом, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Ссли ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° выглядит чистой Π½Π° Π³Π»Π°Π·.

Π›ΡŽΠ±Ρ‹Π΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ повСрхности Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ слой маски послС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ испортит внСшний Π²ΠΈΠ΄ издСлия.

ВСхнология нанСсСния ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста

НанСсСниС ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΉ маски Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ использования Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ„ΡƒΠ³ΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ распылитСля для создания идСально Ρ€ΠΎΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя. Если Π²Ρ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ Π²Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ, Ρ€Π°Π·Π±Ρ€Ρ‹Π·Π³ΠΈΠ²Π°ΠΉΡ‚Π΅ состав ΠΏΠΎΠ΄ нСбольшим ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΌ, избСгая образования ΠΏΡƒΠ·Ρ‹Ρ€ΡŒΠΊΠΎΠ² Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ΠΎΠΉ пробоя изоляции.

Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ влияСт Π½Π° врСмя ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ ΠΈ качСство экспонирования. Блишком толстый слой Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ ΡΠΎΡ…Π½ΡƒΡ‚ΡŒ ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π΄Π°Ρ‚ΡŒ усадку, Π° слишком Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ Π½Π΅ обСспСчит Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΡƒΡŽ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρƒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ². ΠžΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ составляСт ΠΎΡ‚ 10 Π΄ΠΎ 20 ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½.

ПослС нанСсСния ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π²Ρ‹ΡΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 70-80 градусов ЦСльсия Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 15-20 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π³Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π», Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ это ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ ΠΏΡ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ€Π°ΡΡ‚Ρ€Π΅ΡΠΊΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ слоя. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠΉΡ‚Π΅ процСсс Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ.

Для ускорСния процСсса ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ инфракрасныС ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΠΊΠΈ, Π½ΠΎ слСдитС Π·Π° Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Π²Π°. НСравномСрная Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΈ появлСнию Π²ΠΎΠ»Π½ Π½Π° повСрхности маски.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Если Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΡƒΡŽ маску, ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅ΡΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ отсутствуСт сквозняк, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ это ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π½Π΅Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ΅ высыханиС ΠΈ появлСниС "ΡˆΠ°Π³Ρ€Π΅Π½ΠΈ" Π½Π° повСрхности.
πŸ“Š Какой Ρ‚ΠΈΠΏ маски Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго?
Π–ΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ фоторСзист
Бухая ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ°
Эпоксидная краска
НС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽ маску

ЭкспонированиС ΠΈ проявка рисунка

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ этап β€” экспонированиС, Ρ‚ΠΎ Π΅ΡΡ‚ΡŒ засвСтка ΡƒΠ·ΠΎΡ€Π° Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ΄ ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ‚, ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ располоТСния ΠΎΠΊΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Π£Π€-Π»Π°ΠΌΠΏΡ‹ с Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ 365 Π½ΠΌ для Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹Ρ… составов, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π€ΠΎΡ‚ΠΎΡˆΠ°Π±Π»ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠ°Ρ‚ ΠΊ повСрхности ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ эффСкта оптичСского размытия. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Π²Π°ΠΊΡƒΡƒΠΌΠ½ΡƒΡŽ Ρ€Π°ΠΌΠΊΡƒ ΠΈΠ»ΠΈ утяТСлСнный ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Ρ‹ΠΉ лист для обСспСчСния ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π°. МалСйший Π·Π°Π·ΠΎΡ€ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ шаблоном ΠΈ маской ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€Π΅ чСткости ΠΊΠΎΠ½Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠ² Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ.

ВрСмя экспонирования зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ слоя ΠΈ мощности источника свСта. ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ это Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ 30 сСкунд Π΄ΠΎ 2 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚. Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ врСмя Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡ‚ΡŒ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π½Π° тСстовом ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π΅, Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΡƒΡ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ засвСтки.

ПослС экспонирования наступаСт этап проявлСния. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ раствор Ρ‰Π΅Π»ΠΎΡ‡ΠΈ (ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ 1% раствор ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΎΠ½Π°Ρ‚Π° натрия ΠΈΠ»ΠΈ калия) для удалСния Π½Π΅ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ части маски. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ проявлСния Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ 25-30 градусов Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1-3 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚.

Аккуратно ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ струСй раствора, контролируя, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° проявится Ρ‡Π΅Ρ‚ΠΊΠΈΠΉ рисунок Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. НС пСрСусСрдствуйтС, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ агрСссивная ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Π²ΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈ частично Π·Π°Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Π΅Π²ΡˆΠΈΠΉ слой Π½Π° Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ…, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Π±Ρ€Π°ΠΊΡƒ.

β˜‘οΈ ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠ° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ проявкой

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4

ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡ ΠΈ Ρ„ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ°

ПослС Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΠΊ рисунок проявлСн ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΡ‹Ρ‚, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ провСсти ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ (ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅) маски. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс обСспСчиваСт Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΡƒΡŽ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ изоляции. ΠŸΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π² ΠΏΠ΅Ρ‡ΡŒ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ Π£Π€-Π»Π°ΠΌΠΏΡ‹ Π½Π° срок ΠΎΡ‚ 30 ΠΌΠΈΠ½ΡƒΡ‚ Π΄ΠΎ часа.

Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΆΠΈΠΌ зависит ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΈΠΏΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°. Для Π±ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²Π° Π΄Π²ΡƒΡ…ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… составов трСбуСтся Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π² Π΄ΠΎ 150 градусов ЦСльсия. ΠŸΡ€Π΅Π½Π΅Π±Ρ€Π΅ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ этим этапом ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Ρ‚ΠΎΠΌΡƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ маска останСтся мягкой ΠΈ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π»Π΅Π³ΠΊΠΎ Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠ°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅.

Π’ процСссС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ происходит сшиваниС ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡƒΠ» ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ слой практичСски Π½Π΅Ρ€Π°Π·Ρ€ΡƒΡˆΠΈΠΌΡ‹ΠΌ. ΠŸΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ качСство отвСрТдСния ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ простым тСстом Π½Π° Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½Ρƒ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ ΠΈΠ³ΠΎΠ»ΠΊΡƒ ΠΈΠ»ΠΈ Π»Π΅Π·Π²ΠΈΠ΅ Π² Π½Π΅Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠΌ мСстС.

Если маска остаСтся Π»ΠΈΠΏΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ мнСтся, Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚, Ρ†ΠΈΠΊΠ» отвСрТдСния Π±Ρ‹Π» Π½Π΅ΠΏΠΎΠ»Π½Ρ‹ΠΌ. Π’ Ρ‚Π°ΠΊΠΎΠΌ случаС Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄Π»ΠΈΡ‚ΡŒ врСмя Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΡΠΏΡ€Π°Π²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов ΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈ.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с высокотСмпСратурными ΠΏΠ΅Ρ‡Π°ΠΌΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ тСрмостойкиС ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠΆΠΎΠ³ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈ Π·Π°Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ΅ ΠΈ Π²Ρ‹Π³Ρ€ΡƒΠ·ΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°Ρ‚.
ΠŸΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ Π–ΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ фоторСзист Бухая плСночная маска Эпоксидная краска
Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя 10-20 ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½ 25-40 ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½ 50-100 ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½
Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ рисунка Высокая БрСдняя Низкая
Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° отвСрТдСния 70-150Β°C 100-140Β°C 150-180Β°C
Π‘Ρ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΊ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠžΡ‚Π»ΠΈΡ‡Π½Π°Ρ Π₯ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠ°Ρ БрСдняя
ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ удалСния маски

Если Π²Π°ΠΌ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ маску послС ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ смывки Π½Π° органичСской основС ΠΈΠ»ΠΈ мСханичСски ΡΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ слой Π»Π΅Π·Π²ΠΈΠ΅ΠΌ. ВСрмичСскоС ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ для Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠ² эпоксидных составов ΠΏΡ€ΠΈ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ высоких Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π°Ρ…, Ρ‡Ρ‚ΠΎ часто ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π΄Π΅Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΠ°Ρ†ΠΈΠΈ самой ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹.

Π’ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹Π΅ ошибки ΠΈ способы ΠΈΡ… устранСния

Π”Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ мастСра Π΄ΠΎΠΏΡƒΡΠΊΠ°ΡŽΡ‚ ошибки, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΈΡΠΏΠΎΡ€Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅. Одной ΠΈΠ· самых частых ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ являСтся ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ‹Π»ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ маску Π²ΠΎ врСмя экспонирования, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ появлСнию Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ "островков" изоляции Π½Π° Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°Ρ…. РСшСниС простоС: Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ Π² чистом ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ бокс с Ρ„ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…Π°.

Π•Ρ‰Π΅ ΠΎΠ΄Π½Π° распространСнная ошибка β€” нСдостаточноС врСмя экспонирования, ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ‡Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ Π²Ρ‹ΠΌΡ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ изоляции с Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠΌ замыканиям ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΠΎΠΌ ΠΆΠ΅ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ устройства. ВсСгда Π΄Π΅Π»Π°ΠΉΡ‚Π΅ тСстовыС засвСтки ΠΈ провСряйтС Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄ микроскопом.

Если маска ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎ дСрТится Π½Π° ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π±Ρ‹Π»Π° нСдостаточно ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€Π΅Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ окислСна. Π’ этом случаС ΠΏΠΎΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ повторная мСханичСская ΠΎΠ±Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΊΠ° ΠΈ нанСсСниС ΠΏΡ€Π°ΠΉΠΌΠ΅Ρ€Π°. НС ΠΏΡ‹Ρ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ΡΡŒ ΠΈΡΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Π±Ρ€Π°ΠΊ, нанося Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ слой ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠ³ΠΎ β€” это Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ усугубит ΡΠΈΡ‚ΡƒΠ°Ρ†ΠΈΡŽ.

Иногда ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ с ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ Π½Π΅ "ΠΏΡ€ΠΈΠ»ΠΈΠΏΠ°Π΅Ρ‚" ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠ°ΠΌ. Π­Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ слСдствиСм загрязнСния маски Π² ΠΎΠΊΠ½Π°Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ использования нСкачСствСнного Ρ„Π»ΡŽΡΠ°. Π’Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΎΠΊΠ½Π° ΠΎΡ‚ масок ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΎΠΉ.

πŸ’‘

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм маски ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄ΠΈΡ‚Π΅ тСст Π½Π° адгСзию: Π½Π°ΠΊΠ»Π΅ΠΉΡ‚Π΅ скотч Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹ΠΉ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†, ΠΏΡ€ΠΈΠΆΠΌΠΈΡ‚Π΅ ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΠΊΠΎ сорвитС. Если мСдь Π½Π΅ ΠΎΡΡ‚Π°Π»Π°ΡΡŒ Π½Π° скотчС, ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π° ΠΊ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅.

Π‘Π΅Π·ΠΎΠΏΠ°ΡΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ утилизация ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ²

Π Π°Π±ΠΎΡ‚Π° с химичСскими Ρ€Π΅Π°Π³Π΅Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ соблюдСния ΠΌΠ΅Ρ€ прСдостороТности. Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ составы ΠΈ проявитСли содСрТат агрСссивныС химичСскиС соСдинСния, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ€Π°Π·Π΄Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠΆΠΈ ΠΈ слизистых ΠΎΠ±ΠΎΠ»ΠΎΡ‡Π΅ΠΊ. ВсСгда ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ΅Ρ€Ρ‡Π°Ρ‚ΠΊΠΈ ΠΈ ΠΎΡ‡ΠΊΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с этими вСщСствами.

Утилизация остатков Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ² Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Π² соотвСтствии с мСстными экологичСскими Π½ΠΎΡ€ΠΌΠ°ΠΌΠΈ. НС Π²Ρ‹Π»ΠΈΠ²Π°ΠΉΡ‚Π΅ растворы проявитСля ΠΈ смывки Π² ΠΊΠ°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΡŽ, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π·Π°Π³Ρ€ΡΠ·Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΡ‹ ΠΈ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρƒ очистных сооруТСний.

Π₯Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ Π² ΠΎΡ€ΠΈΠ³ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΡƒΠΏΠ°ΠΊΠΎΠ²ΠΊΠ°Ρ…, Π² Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…Π»Π°Π΄Π½ΠΎΠΌ мСстС, нСдоступном для Π΄Π΅Ρ‚Π΅ΠΉ ΠΈ прямых солнСчных Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ. Π‘ΠΎΠ»ΡŒΡˆΠΈΠ½ΡΡ‚Π²ΠΎ фоторСзистов Ρ‚Π΅Ρ€ΡΡŽΡ‚ свои свойства ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Ρ…Ρ€Π°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм свСта.

Если Π²Ρ‹ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Π΅Ρ‚Π΅ с растворитСлями, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΡŒΡ‚Π΅ Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΡƒΡŽ Π²Π΅Π½Ρ‚ΠΈΠ»ΡΡ†ΠΈΡŽ помСщСния. ΠŸΠ°Ρ€Ρ‹ органичСских растворитСлСй токсичны ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Ρ‹Π·Π²Π°Ρ‚ΡŒ Π³ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΎΡ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π»ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Π²Π΄Ρ‹Ρ…Π°Π½ΠΈΠΈ.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Ρ…ΠΈΠΌΠΈΠΊΠ°Ρ‚ΠΎΠ² Π½Π° ΠΊΠΎΠΆΡƒ Π½Π΅ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠΌΠΎΠΉΡ‚Π΅ ΠΏΠΎΡ€Π°ΠΆΠ΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ участок большим количСством Π²ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅ΡΡŒ ΠΊ Π²Ρ€Π°Ρ‡Ρƒ, Ссли Ρ€Π°Π·Π΄Ρ€Π°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚.
πŸ’‘

ΠšΠ°Ρ‡Π΅ΡΡ‚Π²ΠΎ паяльной маски зависит Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ ΠΎΡ‚ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈ ΠΎΡ‚ соблюдСния Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ этапС: ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ Π΄ΠΎ Ρ„ΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

ЧастыС вопросы ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с маской

МногиС Π½Π°Ρ‡ΠΈΠ½Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ Π·Π°Π΄Π°ΡŽΡ‚ΡΡ вопросами ΠΎ Ρ‚ΠΎΠΌ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΡƒΡŽ краску вмСсто ΠΏΡ€ΠΎΡ„Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ маски. ΠžΡ‚Π²Π΅Ρ‚ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½: Π½Π΅Ρ‚, ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹Π΅ краски Π½Π΅ Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡƒΡŽ Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ спСциализированныС составы.

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ частый вопрос касаСтся Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π³Π°ΠΌΠΌΡ‹. ЗСлСная маска β€” это классика, Π½ΠΎ сСгодня доступны ΠΈ Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠ΅ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π°: красныС, синиС, Ρ‡Π΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π±Π΅Π»Ρ‹Π΅. Π¦Π²Π΅Ρ‚ Π½Π΅ влияСт Π½Π° Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ свойства, Π½ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€Π°ΡΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»Π΅ ΠΈ автоматичСской оптичСской инспСкции.

МоТно Π»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ маску ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… ΡƒΠΆΠ΅ припаянных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ²? ВСорСтичСски это Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, Π½ΠΎ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Π½Π΅ рСкомСндуСтся. Высокая Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ‡ΡƒΠ²ΡΡ‚Π²ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ элСмСнты, Π° сама маска ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π·Π°ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ собой. НаноситС маску Π΄ΠΎ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ².

Как Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ хранится готовая ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° с маской? ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ Ρ…Ρ€Π°Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ Π² сухом ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ такая ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΡΡ‚ΡŒ свои свойства дСсятилСтиями. Π“Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ β€” Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Ρ‘ ΠΎΡ‚ мСханичСских ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ агрСссивных химичСских срСд.

Как ΠΈΡΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΎΡˆΠΈΠ±ΠΊΡƒ, Ссли проявился лишний участок маски?

Если Π²Ρ‹ Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΠ»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² мСстС, Π³Π΄Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΎΠΊΠ½ΠΎ, ΠΎΡΡ‚Π°Π»Π°ΡΡŒ маска, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π°ΠΊΠΊΡƒΡ€Π°Ρ‚Π½ΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ Π΅Ρ‘ мСханичСски Π»Π΅Π·Π²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ химичСски с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ смывки для фоторСзиста. Π‘ΡƒΠ΄ΡŒΡ‚Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ остороТны, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ Π½Π΅ ΠΏΠΎΡ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠ°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄Π½ΡƒΡŽ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΡƒ.

МоТно Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π£Π€-Ρ„ΠΎΠ½Π°Ρ€ΠΈΠΊ для экспонирования?

ΠœΠΎΡ‰Π½Ρ‹Π΅ Π£Π€-Ρ„ΠΎΠ½Π°Ρ€ΠΈΠΊΠΈ с Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ‹ 365 Π½ΠΌ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ для экспонирования, Π½ΠΎ врСмя засвСтки Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ большС, Ρ‡Π΅ΠΌ Ρƒ ΠΏΡ€ΠΎΡ„Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€. Для Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ это допустимо, Π½ΠΎ для сСрийного производства Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ спСциализированноС ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΡƒΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.

Π§Ρ‚ΠΎ Π΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ, Ссли маска трСснула послС ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΈ?

Π’Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ отвСрТдСния ΠΈΠ»ΠΈ слишком быстрого Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°. Если Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠ΅, ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΡ€ΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½Π° для использования, Π½ΠΎ ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅ Ρ‚Ρ€Π΅Ρ‰ΠΈΠ½Ρ‹ Π΄Π΅Π»Π°ΡŽΡ‚ ΠΈΠ·Π΄Π΅Π»ΠΈΠ΅ Π±Ρ€Π°ΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½Ρ‹ΠΌ. Π’ этом случаС маску придСтся ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ Π·Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎ.

НуТно Π»ΠΈ ΡƒΠ΄Π°Π»ΡΡ‚ΡŒ маску с Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹?

ΠžΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ маску наносят Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ Π½Π° Π»ΠΈΡ†Π΅Π²ΡƒΡŽ ΠΈ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΡƒΡŽ стороны, оставляя Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Ρ‹ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ΠΌΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ обСспСчиваСт Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ Π² Π³Π½Π΅Π·Π΄Π°Ρ… ΠΈ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ скоплСниС кондСнсата. Однако для Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… спСцифичСских ΠΏΡ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ Ρ‚ΠΎΡ€Ρ†Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹ изоляциСй.