Π’ ΠΌΠΈΡ€Π΅ соврСмСнной элСктроники Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ соСдинСний являСтся критичСским Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΌ успСха любого устройства. Π‘Π΅Π· ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ быстро ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡŽΡ‚ΡΡ, Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅ сосСдних ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚ΠΎΠ². ИмСнно здСсь Π½Π° сцСну Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ паяльная маска β€” Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ покрытия, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ наносится Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ для изоляции ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ².

МногиС Π½ΠΎΠ²ΠΈΡ‡ΠΊΠΈ ΠΎΡˆΠΈΠ±ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ это просто Π΄Π΅ΠΊΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΉ элСмСнт, ΠΎΠΊΡ€Π°ΡˆΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π² Π·Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ красный Ρ†Π²Π΅Ρ‚. На Π΄Π΅Π»Π΅ ΠΆΠ΅ функция солдСмра (ΠΎΡ‚ Π°Π½Π³Π». solder mask) Π³ΠΎΡ€Π°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΌΠ°ΡΡˆΡ‚Π°Π±Π½Π° ΠΈ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‡Π°Π΅Ρ‚ Π·Π° ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π΅Ρ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ всСго издСлия. Π‘Π΅Π· Π½Π΅Ρ‘ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² прСвращаСтся Π² Ρ€ΠΈΡΠΊΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡƒΡŽ ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡŽ с нСпрСдсказуСмыми послСдствиями.

Π’ этой ΡΡ‚Π°Ρ‚ΡŒΠ΅ ΠΌΡ‹ Ρ€Π°Π·Π±Π΅Ρ€Π΅ΠΌ, ΠΈΠ· Ρ‡Π΅Π³ΠΎ состоит этот Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹ΠΉ слой, ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ Π΅Π³ΠΎ нанСсСния ΠΈ ΠΏΠΎΡ‡Π΅ΠΌΡƒ ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ маски Π½Π°ΠΏΡ€ΡΠΌΡƒΡŽ влияСт Π½Π° Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ Π³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ†ΠΈΠΈ. Π’Ρ‹ ΡƒΠ·Π½Π°Π΅Ρ‚Π΅, Ρ‡Π΅ΠΌ отличаСтся Тидкая фоторСзистная маска ΠΎΡ‚ Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ суспСнзии, ΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ распространСнных ошибок ΠΏΡ€ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠ»Π°Ρ‚.

ОсновноС Π½Π°Π·Π½Π°Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Ρ†ΠΈΠΏ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя

Главная Π·Π°Π΄Π°Ρ‡Π° паяльной маски β€” ΠΈΠ·ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹Π΅ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΈ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΎΡ‚ случайного попадания припоя Π² Π½Π΅ΠΆΠ΅Π»Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… мСстах. ΠŸΡ€Π΅Π΄ΡΡ‚Π°Π²ΡŒΡ‚Π΅ процСсс ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ: расплавлСнный ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π» Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‡ ΠΈ стрСмится Ρ‚ΡƒΠ΄Π°, Π³Π΄Π΅ Π΅ΡΡ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΏΠ»ΠΎ ΠΈ Ρ„Π»ΡŽΡ. Если Π±Ρ‹ Π½Π΅ Π±Ρ‹Π»ΠΎ изоляции, ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠΉ ΠΌΠΎΠ³ Π±Ρ‹ "ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΏΡ€Ρ‹Π³Π½ΡƒΡ‚ΡŒ" с ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π° Π½Π° Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ, создав ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΎΠ΅ Π·Π°ΠΌΡ‹ΠΊΠ°Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ слоТно Π½Π°ΠΉΡ‚ΠΈ ΠΈ ΡƒΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚ΡŒ.

ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ, слой выполняСт Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΡŽ Π±Π°Ρ€ΡŒΠ΅Ρ€Π° ΠΏΡ€ΠΎΡ‚ΠΈΠ² Π²Π»Π°Π³ΠΈ ΠΈ агрСссивных химичСских срСд. Π’ условиях высокой влаТности ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ воздСйствии ΠΏΠ°Ρ€ΠΎΠ² Ρ„Π»ΡŽΡΠ° открытая мСдь подвСргаСтся ΠΊΠΎΡ€Ρ€ΠΎΠ·ΠΈΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ со Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ Π½Π°Ρ€ΡƒΡˆΠ΅Π½ΠΈΡŽ цСлостности ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠŸΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€Π½Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° Π³Π΅Ρ€ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎ Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, прСдотвращая ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΡ…ΠΈΠΌΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π΄Π΅Π³Ρ€Π°Π΄Π°Ρ†ΠΈΡŽ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ стоит ΡƒΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Ρƒ. Π’ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π΅ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ…Ρ€ΡƒΠΏΠΊΠΈ ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ чисткС ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹. Маска ΠΏΡ€ΠΈΠ΄Π°Π΅Ρ‚ повСрхности ΠΆΠ΅ΡΡ‚ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΈ сниТаСт риск сколов ΠΈΠ»ΠΈ Ρ†Π°Ρ€Π°ΠΏΠΈΠ½ ΠΏΡ€ΠΈ транспортировкС ΠΈ эксплуатации устройства.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Π’ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя маски Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ слишком большой Π² Ρ€Π°ΠΉΠΎΠ½Π΅ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ (pads), ΠΈΠ½Π°Ρ‡Π΅ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΡƒΡ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ‹ с ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΠ΅ΠΌ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎΠ΅ смачиваниС.

Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€Π΅ΡΠ΅Π½ Ρ„Π°ΠΊΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ маски Π½Π΅ влияСт Π½Π° Π΅Ρ‘ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½Ρ‹Π΅ свойства, хотя Π² массовом производствС Π·Π΅Π»Π΅Π½Ρ‹ΠΉ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ стал стандартом Π΄Π΅-Ρ„Π°ΠΊΡ‚ΠΎ ΠΈΠ·-Π·Π° историчСских ΠΏΡ€ΠΈΡ‡ΠΈΠ½ ΠΈ удобства Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ контроля ΠΏΠΎΠ΄ микроскопом.

Π’ΠΈΠΏΡ‹ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΈ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ нанСсСния

БущСствуСт нСсколько Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅ΠΌΡ‹Ρ… для создания Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя, ΠΈ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ зависит ΠΎΡ‚ слоТности трассировки ΠΈ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΊ надСТности. НаиболСС распространСнным Ρ‚ΠΈΠΏΠΎΠΌ являСтся Тидкая фоторСзистная маска (LPI β€” Liquid Photo Imageable), которая наносится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ напылСния ΠΈΠ»ΠΈ цСнтрифугирования.

Жидкая фоторСзистная маска Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΉ экспозиции Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΡƒ (фотомаску) ΠΈ проявки. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ процСсс позволяСт ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΎΡ‡Π΅Π½ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½ΠΎ для ΠΏΠ»Π°Ρ‚ с высокой ΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒΡŽ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°. ΠœΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π·Π°Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Π΅Π²Π°Π΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠ΄ воздСйствиСм ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ излучСния, образуя ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ΅ сцСплСниС с основой.

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΈΠΌ Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚ΠΎΠΌ являСтся тСрмоотвСрТдаСмая суспСнзия, которая наносится ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π²Π°Π»ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ»ΠΈ струйным способом. Π’Π°ΠΊΠΈΠ΅ составы часто ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ Π² простых издСлиях ΠΈΠ»ΠΈ для Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°, Π³Π΄Π΅ Π½Π΅ трСбуСтся Π²Ρ‹ΡΠΎΡ‡Π°ΠΉΡˆΠ°Ρ Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ. Однако ΠΎΠ½ΠΈ ΡƒΡΡ‚ΡƒΠΏΠ°ΡŽΡ‚ фоторСзистам Π² способности ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ изоляционныС ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡ΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎ располоТСнными Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌΠΈ.

НанСсСниС маски β€” это многоступСнчатый процСсс, Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ повСрхности.

  • 🧹 ΠžΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΎΡ‚ оксидов ΠΈ загрязнСний для обСспСчСния Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ.
  • 🎨 НанСсСниС ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ фоторСзиста Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌ слоСм.
  • πŸ”₯ ΠŸΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΡΡƒΡˆΠΊΠ° (ΠΏΡ€Π΅-Π±Π°ΠΊΠ΅) для удалСния растворитСля.
  • πŸ’‘ ЭкспонированиС Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· фотомаску ΠΈ химичСская проявка.
  • πŸ”₯ ΠžΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅.

ΠšΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€Ρ‹ качСства ΠΈ допуски

ΠŸΡ€ΠΈ ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΊΠ΅ качСства нанСсСния паяльной маски ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‰Π°ΡŽΡ‚ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π° нСсколько ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π²Ρ‹Ρ… ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠ². Одним ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡˆΠΈΡ… являСтся Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° слоя, которая ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ ΠΎΡ‚ 15 Π΄ΠΎ 25 ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½. Блишком Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΠΉ слой ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π½Π΅ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎΠΉ изоляции, Π° слишком толстый β€” Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΈΡ‚ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΡƒ.

ΠšΡ€ΠΈΡ‚ΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠ°Ρ€Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ являСтся ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΌΡ‹Ρ‡ΠΊΠΈ (clearance) ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΠΊΡ€Π°Π΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ расстояниС, Ρ‡Π΅Ρ€Π΅Π· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ маска, Π½Π΅ закрывая саму ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΡƒ. Если этот Π·Π°Π·ΠΎΡ€ Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ слишком ΠΌΠ°Π», ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΠ·ΠΎΠΉΡ‚ΠΈ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ маски Π½Π° ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½ΡƒΡŽ Π·ΠΎΠ½Ρƒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Ρ‚ ΠΊ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρƒ припоя.

Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ маски ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Ρƒ слоя ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΉ проницаСмости для ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΎΠ»Π΅Ρ‚Π°. НапримСр, ΠΏΡ€ΠΈ использовании Π±Π΅Π»ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½ΠΎΠΉ маски ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΊΠΎΡ€Ρ€Π΅ΠΊΡ‚ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π² Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ экспонирования, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ нСдоотвСрТдСния ΠΈΠ»ΠΈ пСрСотвСрТдСния ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°.

Π’ΠΈΠΏ маски Бпособ нанСсСния Π’ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ (ΠΌΠΈΠ½. ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½Π° Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ) ΠžΡΠΎΠ±Π΅Π½Π½ΠΎΡΡ‚ΠΈ
Жидкая фоторСзистная (LPI) НапылСниС / Π¦Π΅Π½Ρ‚Ρ€ΠΈΡ„ΡƒΠ³Π° Π΄ΠΎ 75 ΠΌΠΊΠΌ Высокая Ρ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ, ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠΈΠΉ Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ†Π²Π΅Ρ‚ΠΎΠ²
ВСрмоотвСрТдаСмая (SR) Π’Π°Π»ΠΈΠΊ / Бтруя ΠΎΡ‚ 150 ΠΌΠΊΠΌ ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚ΠΎΡ‚Π°, низкая ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ
Бухая плСночная Ламинация Π΄ΠΎ 100 ΠΌΠΊΠΌ Π Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ слоя, Π½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π° слоТных ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ…
Эпоксидная (для Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°) ΠšΠΈΡΡ‚ΡŒ / Π¨ΠΏΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒ Π½Π΅Ρ‚ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Волько для локального Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°, низкая эстСтика
πŸ“Š Какой Ρ‚ΠΈΠΏ паяльной маски Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ всСго?
Жидкая фоторСзистная (LPI)
ВСрмоотвСрТдаСмая
НС ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽ
Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽ для Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°

ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ нанСсСния Π² Π΄ΠΎΠΌΠ°ΡˆΠ½ΠΈΡ… условиях ΠΈ Π½Π° производствС

Если Π²Ρ‹ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ‚Π΅ΡΡŒ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΠ»Π°Ρ‚ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΡ‚ΠΎΡΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ, процСсс нанСсСния маски ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒΡΡ слоТным, Π½ΠΎ ΠΎΠ½ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ Ρ€Π΅Π°Π»ΠΈΠ·ΡƒΠ΅ΠΌ Π² условиях домашнСй Π»Π°Π±ΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΈΠΈ. Π’Π°ΠΌ понадобится Тидкая фоторСзистная маска, источник Π£Π€-излучСния ΠΈ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° с рисунком. Π‘Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π½ΡƒΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Π²Ρ‹ΠΌΡ‹Ρ‚ΡŒ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅Π·ΠΆΠΈΡ€ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ адгСзию.

НанСсСниС осущСствляСтся ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ напылСния Π°ΡΡ€ΠΎΠ·ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π±Π°Π»Π»ΠΎΠ½Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ использования ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ распылитСля. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Ρ€Π°Π²Π½ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя Π±Π΅Π· ΠΏΠΎΡ‚Π΅ΠΊΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡƒΠ·Ρ‹Ρ€ΡŒΠΊΠΎΠ². ПослС нанСсСния слСдуСт ΠΏΡ€ΠΎΠΉΡ‚ΠΈΡΡŒ горячим Π²ΠΎΠ·Π΄ΡƒΡ…ΠΎΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ Π² ΡΡƒΡˆΠΈΠ»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΡˆΠΊΠ°Ρ„ для удалСния растворитСля, ΠΏΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π΅ станСт Π»ΠΈΠΏΠΊΠΎΠΉ, Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΠΉ.

Π”Π°Π»Π΅Π΅ ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚ этап экспонирования. Π€ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° с рисунком накладываСтся Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΈ облучаСтся Π£Π€-свСтом. ΠžΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ участки (Π³Π΄Π΅ маска Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±Ρ‹Ρ‚ΡŒ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½Π°) ΠΎΡΡ‚Π°ΡŽΡ‚ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΌΠΈ, Π° Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹Π΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ΠΈΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ. ПослС этого производится проявка ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ раствором, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΉ смываСт Π½Π΅Π·Π°Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Π΅Π²ΡˆΡƒΡŽ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ.

Для достиТСния ΠΏΡ€ΠΎΡ„Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ строго ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ ΠΈ врСмя ΡΡƒΡˆΠΊΠΈ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ этапС. Ошибки Π² этом процСссС часто приводят ΠΊ ΠΎΡ‚ΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ маски Π² процСссС ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ.

β˜‘οΈ ΠŸΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΊ нанСсСнию маски

Π’Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½ΠΎ: 0 / 4
⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Если Π²Ρ‹ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚Π΅ Π°ΡΡ€ΠΎΠ·ΠΎΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ маску, ΠΎΠ±ΡΠ·Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ Π² Ρ…ΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠΌΠ΅Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ рСспиратор, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠ°Ρ€Ρ‹ растворитСлСй токсичны.

ПослС проявки ΠΈ ΠΎΠΊΠΎΠ½Ρ‡Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ отвСрТдСния ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π° Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²Π° ΠΊ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅. Π’Π°ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΈΡ‚ΡŒ качСство маски, Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΡƒΠ±Π΅Π΄ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ всС ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚Ρ‹, Π° Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‰Π΅Π½Ρ‹.

ЧастыС ошибки ΠΏΡ€ΠΈ нанСсСнии маски

ΠŸΡ€ΠΈ нанСсСнии аэрозоля часто ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ "ΡˆΠ°Π³Ρ€Π΅Π½ΡŒ" (нСровная ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ) ΠΈΠ·-Π·Π° слишком быстрого высыхания ΠΈΠ»ΠΈ слишком Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ расстояния Π±Π°Π»Π»ΠΎΠ½Ρ‡ΠΈΠΊΠ°. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ частой ошибкой являСтся нСдостаточная экспозиция, ΠΈΠ·-Π·Π° Ρ‡Π΅Π³ΠΎ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ маски смываСтся ΠΏΡ€ΠΈ проявкС вмСстС с Π½ΡƒΠΆΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ участками.

Π”Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ ΠΈΡ… устранСния

Π”Π°ΠΆΠ΅ ΠΏΡ€ΠΈ соблюдСнии Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚Ρ‹ нанСсСния паяльной маски. Одной ΠΈΠ· самых распространСнных ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ являСтся отслаиваниС маски Π² процСссС ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ. Π­Ρ‚ΠΎ происходит, Ссли ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΠ»ΠΎΡ…ΠΎ ΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π΅Π½Π° ΠΈΠ»ΠΈ Ссли полимСризация ΠΏΡ€ΠΎΡˆΠ»Π° Π½Π΅ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎ.

Π”Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΉ Ρ‚ΠΈΠΏΠΈΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ β€” это Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ "волосков" ΠΈΠ»ΠΈ Ρ‚ΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ… Π½ΠΈΡ‚Π΅ΠΉ маски ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Они ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π·Π°ΠΌΠΊΠ½ΡƒΡ‚ΡŒ элСктричСскиС Ρ†Π΅ΠΏΠΈ, Ссли Π½Π΅ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‚ ΡƒΠ΄Π°Π»Π΅Π½Ρ‹. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ встрСчаСтся ΠΏΡ€ΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ° с ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΎΠΊ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° маска Π·Π°Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π½Π° мСсто ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Π΅Ρ‚ ΠΏΡ€ΠΈΠΏΠΎΡŽ ΡΠΌΠΎΡ‡ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚.

Для устранСния Ρ‚Π°ΠΊΠΈΡ… Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ мСханичСская очистка скальпСлСм ΠΈΠ»ΠΈ химичСская смывка ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌΠΈ растворитСлями. Однако, Ссли поврСТдСния ΠΎΠ±ΡˆΠΈΡ€Π½Ρ‹, ΠΏΡ€ΠΎΡ‰Π΅ пСрСнСсти рисунок ΠΈ нанСсти слой Π·Π°Π½ΠΎΠ²ΠΎ, Ρ‡Π΅ΠΌ ΠΏΡ‹Ρ‚Π°Ρ‚ΡŒΡΡ ΠΈΡΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚.

  • πŸ” Π’ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ ΠΏΠΎΠ΄ Π»ΡƒΠΏΠΎΠΉ для поиска мостиков.
  • πŸ§ͺ ВСст Π½Π° адгСзию (Π»Π΅Π½Ρ‚ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ тСст) для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ прочности.
  • πŸ›‘ Π£Π΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅Ρ„Π΅ΠΊΡ‚ΠΎΠ² растворитСлСм ΠΈΠ»ΠΈ мСханичСски.

Иногда трСбуСтся Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚ маски, Ссли ΠΎΠ½Π° Π±Ρ‹Π»Π° ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½Π° ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅. Для этого ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π΅ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ составы, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ наносятся кисточкой Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ участок.

πŸ’‘

ΠŸΠ΅Ρ€Π΅Π΄ нанСсСниСм маски Π½Π° ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρƒ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ слСгка ΠΏΡ€ΠΎΠ³Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‘ Π΄ΠΎ 40-50 градусов, это ΡƒΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΡ‚ растСканиС ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π° ΠΈ адгСзию ΠΊ ΠΌΠ΅Π΄Π½Ρ‹ΠΌ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠ°ΠΌ.

ВлияниС Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° маски Π½Π° характСристики ΠΏΠ»Π°Ρ‚Ρ‹

Π₯отя Ρ†Π²Π΅Ρ‚ маски β€” это Π² ΠΏΠ΅Ρ€Π²ΡƒΡŽ ΠΎΡ‡Π΅Ρ€Π΅Π΄ΡŒ эстСтичСский Π²Ρ‹Π±ΠΎΡ€, ΠΎΠ½ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° тСхнологичСскиС процСссы. ЗСлСная маска являСтся стандартом, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½Π° обСспСчиваСт Π½Π°ΠΈΠ»ΡƒΡ‡ΡˆΡƒΡŽ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚ΠΎΠ² для ΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ² ΠΈ оптичСских систСм контроля.

БСлая ΠΈ чСрная маски Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΡƒΡŽΡ‚ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Ρ‚Ρ‰Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ настройки процСсса экспонирования. БСлая маска ΠΎΡ‚Ρ€Π°ΠΆΠ°Π΅Ρ‚ Ρ‡Π°ΡΡ‚ΡŒ Π£Π€-Π»ΡƒΡ‡Π΅ΠΉ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΏΠΎΡ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ увСличСния Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ экспозиции. ЧСрная ΠΆΠ΅, Π½Π°ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΠΎΡ‚, ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ свСт, ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈ Π½Π΅ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ привСсти ΠΊ Π½Π΅Π΄ΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ€ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡŽ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

ΠŸΡ€ΠΎΠ·Ρ€Π°Ρ‡Π½Π°Ρ маска ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ Π² Ρ€Π΅Π΄ΠΊΠΈΡ… случаях, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡΠΎΡ…Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ, Π½ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈ этом Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ ΠΈΡ…. Она часто примСняСтся Π² Π΄Π΅ΠΊΠΎΡ€Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°Ρ… ΠΈΠ»ΠΈ Π² ΠΎΡΠ²Π΅Ρ‚ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΈΠ±ΠΎΡ€Π°Ρ…, Π³Π΄Π΅ Π²ΠΈΠ΄Π½Ρ‹ сами Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠΊΠΈ.

ΠŸΠΎΡΡ‚ΠΎΠΌΡƒ ΠΏΡ€ΠΈ смСнС Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° маски Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ΡŒ испытания Π½Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°Ρ….

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: Для масок с мСталличСским эффСктом (Π·ΠΎΠ»ΠΎΡ‚ΠΎ, сСрСбро) трСбуСтся ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠ° повСрхности ΠΈ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ этапы отвСрТдСния, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π±Π»ΠΎΠΊΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π£Π€-ΠΈΠ·Π»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅.
πŸ’‘

Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° маски Π½Π΅ влияСт Π½Π° элСктричСскиС свойства, Π½ΠΎ влияСт Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ процСсса нанСсСния ΠΈ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ качСства.

Π‘ΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π°Π»ΡŒΡ‚Π΅Ρ€Π½Π°Ρ‚ΠΈΠ²Ρ‹ ΠΈ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ

Помимо Ρ‚Ρ€Π°Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Ρ… ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΡ… фоторСзистов, Π½Π° Ρ€Ρ‹Π½ΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½ΠΎΠ²Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ кристалл ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅Ρ€ (LCP) для высокочастотных устройств. Π­Ρ‚ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ мСньшиС диэлСктричСскиС ΠΏΠΎΡ‚Π΅Ρ€ΠΈ ΠΈ Π»ΡƒΡ‡ΡˆΡƒΡŽ ΡΡ‚Π°Π±ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½Π° высоких частотах ΠΏΠΎ ΡΡ€Π°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡŽ с ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½Ρ‹ΠΌΠΈ эпоксидными масками.

Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ развиваСтся тСхнология нанСсСния маски Π»Π°Π·Π΅Ρ€ΠΎΠΌ, которая позволяСт ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡ‰Π°Π΄ΠΊΠΈ Π±Π΅Π· использования Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ. Π­Ρ‚ΠΎ ускоряСт процСсс прототипирования ΠΈ позволяСт Π²Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ измСнСния Π² Π΄ΠΈΠ·Π°ΠΉΠ½ Π½Π° Π»Π΅Ρ‚Ρƒ.

Π’ индустрии высокочастотной элСктроники всС Ρ‡Π°Ρ‰Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‚ΡΡ маски с Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ коэффициСнтом диэлСктричСской проницаСмости (Dk), Ρ‡Ρ‚ΠΎΠ±Ρ‹ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠΈΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ влияниС Π·Π°Ρ‰ΠΈΡ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ слоя Π½Π° характСристики сигнала.

Π˜Π½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ€Ρ‹ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‚ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΎΡ‡ΠΈΡ‰Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ΡΡ маски, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ ΠΎΡ‚Ρ‚Π°Π»ΠΊΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π²Π»Π°Π³Ρƒ ΠΈ Π³Ρ€ΡΠ·ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ особСнно Π°ΠΊΡ‚ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎ для ΡƒΠ»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ оборудования ΠΈ Π΄Π°Ρ‚Ρ‡ΠΈΠΊΠΎΠ².

ΠŸΠ΅Ρ€ΡΠΏΠ΅ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Ρ‹ развития

Π’ Π±ΡƒΠ΄ΡƒΡ‰Π΅ΠΌ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ появлСниС масок с измСняСмыми свойствами, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ "ΡΠ°ΠΌΠΎΠ·Π°Π»Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ" ΠΏΡ€ΠΈ мСханичСских поврСТдСниях, восстанавливая изоляционныС свойства Π±Π΅Π· Π²ΠΌΠ΅ΡˆΠ°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²Π° Ρ‡Π΅Π»ΠΎΠ²Π΅ΠΊΠ°.

Π‘ Ρ€Π°Π·Π²ΠΈΡ‚ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ многослойных ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΠ»Π°Ρ‚ трСбования ΠΊ маскС становятся Π΅Ρ‰Π΅ строТС. Она Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π²Ρ‹Π΄Π΅Ρ€ΠΆΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΡ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹Π΅ тСрмичСскиС Ρ†ΠΈΠΊΠ»Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΈ Π½Π΅ ΠΎΡ‚ΡΠ»Π°ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒΡΡ Π½Π° Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Π°Ρ… слоСв.

⚠️ Π’Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅: ΠŸΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π΅ с высокочастотными ΠΏΠ»Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ (RF) Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΡ‡ΠΈΡ‚Ρ‹Π²Π°Ρ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»Ρ‰ΠΈΠ½Π° ΠΈ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» маски ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Π²Π»ΠΈΡΡ‚ΡŒ Π½Π° импСданс Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅Π΄Π°Ρ‡ΠΈ, поэтому Π²Ρ‹Π±ΠΈΡ€Π°ΠΉΡ‚Π΅ спСциализированныС составы.

FAQ: Часто Π·Π°Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΡ‹Π΅ вопросы

МоТно Π»ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ ΠΏΠ°ΡΠ»ΡŒΠ½ΡƒΡŽ маску ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… ΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎ покрытия HASL?

НСт, Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΡƒΡŽ Ρ„ΠΎΡ‚ΠΎΡ€Π΅Π·ΠΈΡΡ‚Π½ΡƒΡŽ маску ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ… слоя HASL (горячСС Π»ΡƒΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅) Π½Π΅ рСкомСндуСтся, Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ адгСзия Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΊΡ€Π°ΠΉΠ½Π΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ. Π‘Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΈΡ‚ΡŒ HASL химичСским ΠΏΡƒΡ‚Π΅ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ мСханичСски, ΠΎΡ‡ΠΈΡΡ‚ΠΈΡ‚ΡŒ мСдь ΠΈ Π·Π°Ρ‚Π΅ΠΌ Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡ‚ΡŒ маску.

Какой Ρ€Π°ΡΡ‚Π²ΠΎΡ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ для смывки фоторСзиста?

Для удалСния Π½Π΅Π·Π°Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄Π΅Π²ΡˆΠ΅ΠΉ маски ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠ΅Ρ‚ΡΡ 1-2% раствор Π΅Π΄ΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Ρ‚Ρ€Π° (NaOH) Π² Π²ΠΎΠ΄Π΅. НСкоторыС составы ΠΌΠΎΠ³ΡƒΡ‚ Ρ‚Ρ€Π΅Π±ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ ΡΠΏΠ΅Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… органичСских растворитСлСй, поэтому всСгда Ρ‡ΠΈΡ‚Π°ΠΉΡ‚Π΅ ΠΈΠ½ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ†ΠΈΡŽ производитСля.

МоТно Π»ΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π»Π°ΠΊ для волос вмСсто паяльной маски?

НСт, Π»Π°ΠΊ для волос Π½Π΅ обСспСчиваСт Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ тСрмостойкости ΠΈ химичСской стойкости. ΠŸΡ€ΠΈ ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠ΅ ΠΎΠ½ сгорит ΠΈ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ ΠΎΡΡ‚Π°Π²ΠΈΡ‚ΡŒ ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ отлоТСния, ΡƒΡ…ΡƒΠ΄ΡˆΠ°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ качСство ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΈ Π²Ρ‹Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠΈΠ΅ замыкания.

Как Π΄ΠΎΠ»Π³ΠΎ хранится Тидкая фоторСзистная маска?

Π—Π°ΠΏΠ΅Ρ‡Π°Ρ‚Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ Π±Π°Π»Π»ΠΎΠ½Ρ‹ ΠΈΠ»ΠΈ Смкости ΠΎΠ±Ρ‹Ρ‡Π½ΠΎ хранятся ΠΎΡ‚ 6 Π΄ΠΎ 12 мСсяцСв ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ Π½Π΅ Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 25Β°C. ПослС вскрытия срок годности сокращаСтся, поэтому ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΠΉΡ‚Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» Π² Ρ‚Π΅Ρ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… мСсяцСв ΠΈ Ρ…Ρ€Π°Π½ΠΈΡ‚Π΅ Π² Ρ‚Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠΌ мСстС.

Π§Π΅ΠΌ отличаСтся зСлСная маска ΠΎΡ‚ Ρ‡Π΅Ρ€Π½ΠΎΠΉ?

ОсновноС ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ β€” Π² составС ΠΏΠΈΠ³ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°. ЧСрная маска ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡ‰Π°Π΅Ρ‚ свСт, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ‚ Π·Π°Ρ‚Ρ€ΡƒΠ΄Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Π²ΠΈΠ·ΡƒΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒ Π΄ΠΎΡ€ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ, Π½ΠΎ выглядит эстСтичнСС. ЗСлСная обСспСчиваСт Π»ΡƒΡ‡ΡˆΠΈΠΉ контраст для ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Ρ€ΠΊΠΈ качСства ΠΏΠ°ΠΉΠΊΠΈ ΠΈ ΠΌΠΎΠ½Ρ‚Π°ΠΆΠ°.